奈米光電實驗室
東海大學 物理系
本系統結合了掃描探針顯微鏡與光學量測系統:
在掃描探針顯微鏡系統方面，原子力顯微鏡(AFM)可以直接提供探測奈米尺度下樣品形貌高低起伏等外觀影像的機會，並可廣泛的應用在各種材料表面物理特性，因而延生出了磁力顯微鏡(MFM)，靜電力顯微鏡(EFM)，電位顯微鏡(KFM)，掃描電流顯微鏡(CAFM)，壓電力顯微鏡(PFM)等。對於各類半導體，磁性材料，壓電陶瓷材料等能提供更多微觀下的物理特性資訊。
在光學特性研究方面，本系統能提供共焦雷射光學影像，RAMAN光譜與影像等材料物理與化學組成特性分析辨識功能。並且能撘配特殊SPM探針，能引致加強奈米尺度下微弱的RAMAN光譜訊號，進而提供更多的物性資訊與解析度。因此本系統能提供多樣的分析功能。
主要規格：
1. Scanning range: 100x100x12um
2. Sample size up to 40×10 mm
3. Confocal microscope
| 空間解析: | 400 nm (當物鏡之NA值為0.7) | |
| 雷射波長: | 633 nm | |
| 波長解析: | 0.025 nm (當光柵為 2400線/mm) | |
| 光譜範圍: | 390 – 800 nm |
4. SPM 雷射波長: 800 nm
