東海大學 物理系

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化學氣相沉積系統(CVD) 簡介

儀器管理者：許泱泱

基本簡介：

目前製備： ZnO

真空度：可達10-3torr以下

氣體流量控制器：1000sccm及100sccm

三段式加熱器，可兩段控溫

實驗成果：

ZnO 奈米柱

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©東海大學物理系奈米光電實驗室

聯絡地址：台中市中港路三段 181 號

聯絡電話：電話：04-23590121 分機：32148

實驗室位置：東海大學基礎科學實驗大樓 510