奈米光電實驗室
儀器管理者：施華偉
基本簡介：
Gun type： 現有三支Gun可使用，依電源分為DC跟RF兩種
Target：Cu, Cr, Ti, Au, Co, Fe, TiO2，Diameter:2"
加熱器：Model:PXR4，最高可加熱至六百度C
實驗成果：
RF Sputtering using 70W for 10 minutes at 200℃
