奈米光電實驗室
儀器管理者:施華偉
基本簡介:
Gun type: 現有三支Gun可使用,依電源分為DC跟RF兩種
Target:Cu, Cr, Ti, Au, Co, Fe, TiO2,Diameter:2"
加熱器:Model:PXR4,最高可加熱至六百度C
實驗成果:
RF Sputtering using 70W for 10 minutes at 200℃